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影響三坐標測量機精度的因素除三坐標測量機本身因故障造成測量精度誤差以外，還有很多可能影響三坐標測量機精度的因素，造成三坐標測量誤差。三坐標操作人員要了解這些因素，避免影響零件測量的準確。
1·三坐標測量機機房溫度的穩(wěn)定正如前所述，溫度是影響三坐標測量機精度的因素。三坐標測量機每年進行一次的精度校正，并不能在溫度變化的情況下三次元測量機都能測量準確。尤其是當季節(jié)變化時，機房的溫度已與校驗時不同。有必要在機房溫度穩(wěn)定的情況下，對因三次元光柵溫度和量塊溫度不同而造成的誤差用溫度修正系數(shù)來進行修正。這種修正可以根據(jù)季節(jié)或環(huán)境溫度情況來進行。
2 . 三坐標測量機補償文件的正確性三坐標測量機補償文件是使用雙頻激光干涉儀檢測測量機位置度、直線度和角度誤差后生成的補償文件。測量軟件是根據(jù)它來進行誤差補償?shù)摹Ｍ行┎僮鲉T在安裝測量機軟件時忘記安裝補償文件或?qū)浞菸募G失而造成三坐標測量機精度差和重新校驗機器精度。所以操作員要保管好備份文件并且知道如何安裝補償文件。
3 . 三坐標測量機測頭校正的正確性，準確性三坐標測量機測頭校正是要校正出測桿（測尖）的紅寶石球的直徑，進行測量點測頭修正，并得出不同測頭位置的位置關(guān)系。在測頭校正時產(chǎn)生的誤差將全部加入到測量中去。所以在這個環(huán)節(jié)中要正確和準確。要注意以下幾點：1）保持三坐標標準球和測桿的清潔。2）保證三坐標測座、測頭、測桿、標準球固定牢靠。3）輸入正確的測桿長度和標準球直徑。4）根據(jù)形狀誤差和校正出的寶石球直徑及重復(fù)性判斷校正的準確性（加長桿長度不同校正后的寶石球直徑會不同）。5）要使用不同測頭位置時，在校正完所有測頭位置后，要通過測量球球心點坐標的方法檢查校驗精度。測頭校驗后保存的測頭文件，在測頭、測桿沒有動的前提下可以調(diào)出使用。但測量精度比較高的情況下，建議重新校正測頭。
4 · 三坐標測量機的工作狀態(tài)三坐標測量機在長時間使用后，尤其是在環(huán)境比較差，溫度波動情況比較大的情況下，機械部分會有所變化如：垂直度變差，橫梁長度長的測量機附助腿端的測量精度差等問題。此時就要進行測量機大修和精度校驗。
5 · 三坐標被測零件的形狀誤差及基準的正確選擇因為測量機測量的原理是先采點，然后軟件對所采點進行擬和計算誤差。所以測量機測量時對零件的形狀誤差有一定的要求。當被測零件有明顯的毛刺或沙眼時測量的重復(fù)性就明顯變差，以至于操作員給不出準確的測量結(jié)果。在這種情況下一方面要求對被測零件的形狀誤差進行控制，另外也可以適當增大測桿寶石球的直徑，但測量誤差顯然要大一些。測量時要采取的測量方法以及選擇測量基準是測量的重要環(huán)節(jié)之一。如：測圓和測線時要選擇投影平面或工作平面，建立零件坐標系時正確選擇一基準和二基準，計算同軸度時如何選擇基準軸線等等。這需要掌握測量機的測量原理和根據(jù)實際情況來采取方法步驟。
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