PURERON陶瓷氣體過濾器PGF
瀏覽次數(shù)：937 發(fā)布于：2023-04-01
具備高過濾精度和高耐腐蝕性等特性的陶瓷過濾器，高水平的去除氣體管道內(nèi)的粒子，同時實現(xiàn)高選擇性。（可以滿足200℃高溫烘干、H20濃度消減到5ppb以下）品牌：PURERON型號：PGFPURERON陶瓷氣體過濾器PGF系列.pdf 具備高過濾精度和高耐腐蝕性等特性的陶瓷過濾器，高水平的去除氣體管道內(nèi)的粒子，同時實現(xiàn)高選擇性。（可以滿足200℃高溫烘干、H20濃度消減到5ppb以下） 性能特點對于亞微米LSI工藝，須向使用點供應高純度工藝氣體。為此，超清潔管道也是一個主要問題。為了滿足這些要求，Pureron Japan開發(fā)了使用陶瓷作為過濾元件的全新過濾器，并在穩(wěn)定條件下實現(xiàn)了0.003 m深圳市華聯(lián)歐國際貿(mào)易有限公司長期優(yōu)勢供應PURERON陶瓷氣體過濾器PGF等產(chǎn)品，100%正品保證，價格優(yōu)惠，貨期快，型號全，歡迎前來咨詢合作。所有歐美工控產(chǎn)品型號齊全，質(zhì)量保證，價格全網(wǎng)最低，而且報價快，貨期短，歡迎來電咨詢!
具備高過濾精度和高耐腐蝕性等特性的陶瓷過濾器，高水平的去除氣體管道內(nèi)的粒子，同時實現(xiàn)高選擇性。（可以滿足200℃高溫烘干、H20濃度消減到5ppb以下）
品牌：PURERON
型號：PGF
PURERON陶瓷氣體過濾器PGF系列.pdf
具備高過濾精度和高耐腐蝕性等特性的陶瓷過濾器，高水平的去除氣體管道內(nèi)的粒子，同時實現(xiàn)高選擇性。（可以滿足200℃高溫烘干、H20濃度消減到5ppb以下）
性能特點
對于亞微米LSI工藝，須向使用點供應高純度工藝氣體。為此，超清潔管道也是一個主要問題。為了滿足這些要求，Pureron Japan開發(fā)了使用陶瓷作為過濾元件的全新過濾器，并在穩(wěn)定條件下實現(xiàn)了0.003 m的高精度過濾。蝕刻和薄膜所需的高選擇性。
去除諸如水和氧的雜質(zhì)對于尋求高選擇性是非常重要的。為了確保去除雜質(zhì)，高溫烘烤是必不可少的。Pureron Japan的陶瓷過濾器就是從這個角度開發(fā)的，可以在200 C下進行高溫烘烤。通過免維護操作降低成本。
三層過濾結(jié)構(gòu)，取決于顆粒直徑的大小，很少產(chǎn)生堵塞。與傳統(tǒng)過濾器相比，陶瓷過濾器還具有良好的耐久性和耐熱性。因此，生產(chǎn)停工造成的損失很小，實現(xiàn)了長期成本降低。
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